半导体试验装置、半导体装置的试验方法和制造方法<%=id%>

体试验方法和半导体装置的制造方法。如果从ALPG对作为试验对象的半导体存储器11、12、…、1n输入测试模式，则从半导体存储器11、12、…、1n对No-Go标记20输入模式。No-Go标记20根据从半导体存储器11、12、…、1n输入的模式，判定半导体存储器11、12、…、1n是否合格。利用对应的列地址对应计数器31、32、…、3n存储由No-Go标记20判定为不合格的半导体存储器内的不合格存储单元的列地址数据。
主权项
　权利要求书 1.一种半导体试验装置，该半导体试验装置对半导体存储器进行试验，其特征在于，具备：模式发生器，对上述半导体存储器输入测试模式；判定器，利用从上述半导体存储器输出的模式，判定上述半导体存储器是否合格；以及地址计数器，在利用上述判定器进行了不合格的判定的情况下，存储上述半导体存储器内的不合格存储单元的地址数据。

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