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具沟渠源极线的快闪记忆体及其制作方法<%=id%> |
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图案化氮化物及垫氧化层,蚀刻基板以形成沟渠于其中;执行离子布植植入离子于沟渠底侧,以利于形成重掺杂沟渠源极线,再回填填充材质于沟渠中;执行化学机械研磨平坦化基板;之后,形成隧穿氧化层于基板上;形成第一导电层于该隧穿氧化层之上;层间介电层形成于第一导电层之上;第二导电层形成于层间介电层之上;定义闸极结构,再分别实施离子布植。以利于形成汲极与源极以及形成环掺杂区域。
主权项
权利要求书
1、一种具沟渠源极线快闪记忆体,其特征是:它包括沟渠形成于其中的
基板;重掺杂沟渠源极线位于该沟渠下侧区域;绝缘材质形成于该沟渠中;第
一介电层形成于该基板上;第一导电层堆迭于该第一介电层之上做为悬浮闸
极;第二介电层形成于该第一导电层之上;第二导电层形成于该第二介电层之
上做为控制闸极。
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