利用多程波导光学调制器进行光学上调制光束的方法及装置<%=id%>

摘要
　一种光学调制器(101)，其对通过集成电路小片(103)背面通过半导体基片(103)的光进行调制。在一个实施例中，光学调制器被放置在倒装晶片封装的集成电路小片(103)内。所述光学调制器包括一个光束多次通过的调制区域(115)。在一个实施例中，光束(111)在第一位置(123)进入到半导体基片的背面，并且被调制的光束(127)从半导体基片(103)背面上的第二位置(125)被偏转出来。通过使光束多次在调制区域内部偏转且经过，光学调制器的交互作用长度得到增加。在一个实施例中，全内反射被用来将光束偏转。在另一个实施例中，反射材料(233)被用来将光束进行内部偏转。在一个实施例中，所述调制区域被提供有由p-n结(115、215)形成的充电区域。在另一个实施例中，采用金属氧化物半导体类型结构(315、415)的充电区域被提供。
主权项
　权利要求书 1.一种光学调制器，其包括：一个放置在集成电路小片的半导体基片内的充电区域；一个紧接着所述充电区域放置的第一偏转器，所述第一偏转器把被导引通过所述充电区域的光束偏转返回通过所述的充电区域；以及一个放置在所述第一偏转器对面的第二偏转器，所述第二偏转器将把偏转离开第一偏转器的光束偏转返回通过充电区域到达第一偏转器，所述光束通过在第一和第二偏转器之间充电区域的多次偏转，将被导引离开所述光学调制器。

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