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等离子体反应器电极的制造方法及这种电极<%=id%> |
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发明涉及等离子体反应器的电极制造方法,包括通过收缩连接在电和机械地互连支撑环和设有通孔的电极板的步骤,其中连接步骤还包括将导电层施加于电极板和支撑环之间的结合界面。此外,在施加有导电层的结合界面处装有电极,其中所述支撑环和所述电极包括互锁部件。
主权项
权利要求书
1.等离子体反应器电极的一种制造方法,包括借助于收缩连接电
和机械地互连支撑环与设有通孔的电极板的步骤,其特征在于,所述
连接步骤还包括向电极板与支撑环之间的结合界面施涂导电层。
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