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			您现在的位置在：  首页>>专利 >>专利推广 检测光刻胶剥离过程终点的方法和装置<%=id%> 摘要 　 一种用来检测光刻胶剥离过程的终点的方法和装置。要剥离光刻胶的晶片被设置在剥离室内。在基本上所有的光刻胶都从晶片上剥离后，O和NO反应形成NO2的速度增加，这就增加了发射光的强度。一个光检测装置检测到光强度的增加，这标志着光刻胶剥离过程的终点。 主权项 　 权利要求书 1.一种用来检测光刻胶剥离过程的终点的方法，包括以下步骤： 从设置在一个室内的晶片上剥离光刻胶； 检测发射光的强度；以及 利用发出的光的强度的变化来检测光刻胶剥离过程的终点。

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