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件(1)用的第1支臂部(2a)和第2支臂部(2b)设置成可一体地沿着工件(1)的搬送方向进行往复移动的形态。在第1支臂部(2a)和第2支臂部(2b)上分别设置有与工件(1)可接合的第1接合部(5)和第2接合部(6)，可分别相应于第1支臂部(2a)和第2支臂部2b的位置进行接合或非接合控制。可提供高速搬送并可省空间化的工件搬送装置及具有该装置的电子元件制造装置。
主权项
权利要求书
1.一种工件搬送装置，其特征在于，
将搬送工件用的第1支臂部和第2支臂部设置成一体状沿着工件的搬送方
向往复移动的形态，
在第1支臂部和第2支臂部上分别设置有与工件可接合的第1接合部和第
2接合部，
设置有检测第1支臂部和第2支臂部用的检测部，
设置有与第1支臂部和第2支臂部的位置相对应、可将第1接合部和第2
接合部分别控制为接合或非接合状态的控制部。
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