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一种用于制备通过化学气相沉积方法形成的薄膜的前驱体的方法，其包括将ZCl4同H(tmhd)3溶剂和类如苯的烃溶剂混合，形成一种溶液(其中Z为一种从包含铪和锆在内的元素组中选取的元素)；将该溶液在氩气中回流12小时；藉助真空除去溶剂，从而产生一种固体化合物；将该化合物在0.1mm Hg的近真空状态和200℃下升华；还提出一种用于化学气相沉积方法的ZOx前驱体，其包括从包含ZCI(tmhd)3和ZCl2(tmhd)2在内的化合物组中选取的一种含Z化合物。
主权项
权利要求书
1.一种用于制备通过化学气相沉积方法形成的薄膜的前驱体的方
法，其包括：
将ZCl4同H(tmhd)3溶剂和烃溶剂混合形成一种溶液(其中，Z
为一种从包含铪和锆在内的元素组中选取的元素)；
在氩气中将该溶液回流12小时；
藉助真空除去溶剂，从而产生一种固体化合物；以及
在0.1mmHg的近真空状态和200℃下使该化合物升华。
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