|
|
|
|
|
|
|
|
化物晃动共振振动次数的95％至105％的范围内，所述的驱动熔化物的振动次数是以单晶生长过程中的坩埚转动次数及晶体转动次数为基础所测定的，如果驱动熔化物的振动次数是在熔化物晃动共振振动次数的95％至105％的范围内，控制坩埚转动次数及晶体转动次数或其中之一，以免当振动次数是在该范围内期间因晃动而引起的熔化物振动次数会超过2000次。
主权项
权利要求书
1.一种以Czochralski法为基础的单晶制造方法，其中控制坩
埚转动次数与晶体的转动次数或两者之一，以免驱动熔化物的振动
次数是在熔化物晃动共振振动次数的95％至105％的范围内，所述
的驱动熔化物的振动次数是以单晶生长过程中的坩埚转动次数及晶
体转动次数为基础所测定的。
|
|
|
|
|
设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明
Copyriht 2007 - 2008 © 科普之友 All right reserved |
