真空发生装置<%=id%>

日：
优先权： 2001.11.1 KR 2001－67756
申请(专利权)人：韩国气压系统有限公司
地址：韩国汉城市
发明 (设计)人：赵镐英
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：刘国平
摘要
　本发明公开了一种制成喷射泵组式的真空发生装置，其用于在吸附单元如真空输送系统的吸附垫中产生负压。该真空发生装置包括多个具有相同形状和结构、紧密排列在壳体内、并排叠置且彼此接触的喷射泵组件。壳体将喷射泵组件固定在真空发生装置内。用于释放喷射泵组件的真空室内负压的真空关闭单元安装到壳体上。真空发生装置还包括与壳体的第一进气口相连的真空打开螺线管阀和与真空关闭单元的第二进气口相连的真空关闭螺线管阀。单个真空打开螺线管阀执行喷射泵组件的真空打开操作，而单个真空关闭螺线管阀执行喷射泵组件的真空关闭操作。因此该真空发生装置具有简单的结构。
主权项
　权利要求书 1、一种真空发生装置，包括：多个具有相同形状和结构、紧密地并排排列且彼此接触的喷射泵组件，每个所述的喷射泵组件包括在其相反的两侧开口的进气室、在其单独一侧开口的真空室、和在其相反的两侧开口的出气室，在每个喷射泵组件内形成有连通装置以使得该喷射泵组件的进气室、真空室、及出气室彼此相通，在每个喷射泵组件的一侧面形成有真空口以与该喷射泵组件的真空室相通；壳体，包括与首喷射泵组件相接触的前面板和与末喷射泵组件相接触的后面板，在所述前后面板之间延伸有多个隔离物以支撑排列在壳体内的喷射泵组件，在前后面板上各形成有一个第一进气口以与喷射泵组件的进气室相通，在前后面板的至少一个上形成有一个出气口以与喷射泵组件的出气室相通；与所述壳体一起装配的真空关闭单元，包括具有水平部和垂直部的闭路体，其中在水平部上沿一直线形成有多个导孔，该导孔分别外部连接多个吸附单元并内部连接喷射泵组件的真空口，在所述垂直部的表面形成有第二进气口，形成在所述垂直部内的主流程从第二进气口延伸，由所述主流程分出的多个分流程在真空关闭单元内分别延伸而到达所述导孔；和分别与第一和第二进气口相连的真空打开螺线管阀和真空关闭螺线管阀，用于控制来自压缩空气源的压缩空气流向第一和第二进气口。

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