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含由苯醌-环戊二烯加成物衍生的官能团的树脂化合物及含此化合物的光阻剂组成物<%=id%> |
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案原申请号：
分 类 号：
C08F232/06;G03F7/00
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
长兴化学工业股份有限公司
地 址：
台湾省新竹县
发 明 (设计)人：
谢育材;卜诗尧;许龙麟
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代 理 人：
程伟;彭益群
摘要
本发明提供一种具有以下通式(1)结构的树脂化合物，其中，X、R1、R3、R4、R5及R6，以及a、b、c、d、e、及f如本文中所定义。本发明树脂化合物是由含具以下通式(3)结构的苯醌-环戊二烯加成物的双烯类单体与其他单体所聚合而成，其中R3如本文中所定义，此单体可有效提高树脂化合物的分子量及对基板的粘着力，并且具有强化树脂抗蚀刻的能力。本发明还提供一种包含上述式(1)的树脂化合物的光阻剂组成物。
主权项
权利要求书
1.一种具有通式(1)结构的树脂化合物：
式(1)
其中：
X选自
或
R1、R2、R4及R6各自独立，分别选自氢、含1至15个碳原子的
取代或未取代的直链或支链的烷基、含3至15个碳原子的取代或未取
代的环烷基、含3至15个碳原子的取代或未取代的杂环烷基、或含6
至15个碳原子的取代或未取代的芳基；
R3为＝O、-OR、-R、或下式(2)的基团
式(2)
其中R为氢、含1至15个碳原子的取代或未取代的直链或支链
烷基、含1至15个碳原子的取代或未取代的直链或支链杂烷基、含1
至15个碳原子的取代或未取代的环烷基、含1至15个碳原子的取代
或未取代的杂环烷基、含6至15个碳原子的取代或未取代的芳基、或
含6至15个碳原子的取代或未取代的杂芳基，且其中杂烷基、杂环烷
2
基、及杂芳基中的杂原子是选自由O、N及S所组成的一组；及n为1
至10；
R5为氢或C1-6烷基；
a为20至50的数值；
b为0至30的数值；
c为0至50的数值；
d为0至10的数值；
e为1至20的数值；及
f为0至50数值。
3
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