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分 类 号：
C23C14/34;C23C14/08
颁 证 日：
优 先 权：
2001.8.16 JP 2001－247307;2001.8.30 JP 2001－260781
申请(专利权)人：
三井金属矿业株式会社
地 址：
日本东京
发 明 (设计)人：
渡边弘;高桥诚一郎;山崎贵史
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代 理 人：
戈泊;程伟
摘要
本发明提供一种溅镀靶的制造方法，通过由宽度为100μs以下的脉冲输出的激光进行表面处理，经升华等除去在研削加工时生成的毛刺和研削粉末、特别是粉尘和尘埃等，因此可以使靶子开始使用时所产生的初期电弧显著降低，并能够提高初期稳定性，以低成本进行溅镀靶的制造。
主权项
权利要求书
1.一种溅镀靶，其特征在于：由宽度为100μs以下的脉冲输出的激
光进行表面处理。
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