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分 类 号：
C23C14/34;C03C17/00
颁 证 日：
优 先 权：
2001.8.14 KR 48923/2001;2001.8.21 KR 50179/2001
申请(专利权)人：
三星康宁株式会社
地 址：
韩国京畿道
发 明 (设计)人：
宋希洙;朴性玩
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
永新专利商标代理有限公司
代 理 人：
韩宏
摘要
用来在衬底上淀积薄膜的内嵌式溅射系统包括缓冲加热模块，与缓冲加热模块相邻并且具有快速传送设备用来移动衬底的入口传送模块，和用来在衬底上淀积薄膜的第一溅射模块，第一溅射模块与入口传送模块相邻。入口传送模块充当缓冲区域，在衬底从缓冲加热模块中卸载出来时，可以减小在第一溅射模块中的温度和气压的波动。入口传送模块中的衬底被快速传送设备以比在第一溅射模块中快的速度移动。
主权项
权利要求书
1.一个在衬底上淀积薄膜的内嵌式溅射系统，包含：
一个缓冲加热模块，其中的内部气压减小到真空状态，衬底被预热；
一个入口传送模块，与缓冲加热模块相邻，具有一个在内部移动衬底的快速
转移器件，在这个模块内，衬底被加热；
一个第一溅射模块，用来在衬底上淀积薄膜，它与入口传送模块相邻；
由此，入口传送模块充当缓冲区域，减小当衬底从缓冲加热模块中卸载出来
的时候第一溅射模块中温度和气压的起伏；
其中，入口传送模块中的衬底被该快速传送设备以比第一溅射模块中快的速
度移动。
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