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br>分 类 号：
G01N21/47;G01N21/88
颁 证 日：
优 先 权：
2001.8.10 JP 243939/2001;2002.6.21 JP 181136/2002
申请(专利权)人：
株式会社拓普康
地 址：
日本东京都
发 明 (设计)人：
矶崎久;松田正则
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代 理 人：
温大鹏;杨松龄
摘要
一种表面检测装置，具有：附着了已知微粒的校正用晶片、具有自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片收纳部。
主权项
权利要求书
1、一种表面检测装置，包括：附着规格已知的微粒的校正用晶片、具有
自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片
收纳部。
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