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颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
中国科学院光电技术研究所
地 址：
610209四川省成都市双流350信箱
发 明 (设计)人：
陈旭南;康西巧;罗先刚;石建平
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
代 理 人：
摘要
本发明是一种光刻成像滤波装置，包括照明光源、聚光镜组、成像物镜以及硅片等，在成像物镜的光瞳面位置，放置有对成像光同时进行相位和振幅滤波的复合滤波板。复合滤波板使成像光基本不受阻挡，改变了投影光刻机成像光学系统的光瞳函数，以及光学系统传递函数。本发明的光刻成像滤波装置对成像系统进行双重频谱调制，改善了频谱传输特性，提高了投影成像光刻分辨力。
主权项
权利要求书
1、一种光刻成像滤波装置，包括椭球镜(1)、照明光源(2)、聚光
镜组(4)、掩模板(5)、投影成像物镜以及硅片(9)，其特征在于：在
成像物镜前镜组(6)的后焦面和后镜组(8)的前焦面位置，即成像物镜
的光瞳面位置，放置对成像光同时进行相位和振幅滤波的复合滤波板
(7)。
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