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分 类 号：
H01L21/68 25B11/00
颁 证 日：
优 先 权：
2001.9.5 KR 2001－54434
申请(专利权)人：
周星工程有限公司
地 址：
韩国京畿道
发 明 (设计)人：
权奇清;边洪植;李承原;金洪习;韩淳锡
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
隆天国际专利商标代理有限公司
代 理 人：
徐金国;陈红
摘要
一种静电卡盘包括：金属板，位于金属板上的介电层，介电层和金属板具有起模针孔和冷却气体注入孔；通过起模针孔上下移动的起模针；位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体；以及位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体。
主权项
权利要求书
1.一种静电卡盘，其包括：
金属板；
位于金属板上的介电层，介电层和金属板具有起模针孔和冷却气体的注入
孔；
通过起模针孔上下移动的起模针；
位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体；以及
位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体。
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