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颁 证 日：
优 先 权：
1999.12.9 US 09/458,278
申请(专利权)人：
圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
地 址：
美国马萨诸塞州
发 明 (设计)人：
R·迪瓦卡
国 际 申 请：
CT/US00/42555 2000.12.5
国 际 公 布：
WO01/42163 英 2001.6.14
进入国家日期：
2002.06.07
专利 代理 机构：
上海专利商标事务所
代 理 人：
周承泽
摘要
通过使本体暴露在贫氮气氛(如主要包括氩的气氛)中至少约1000℃的热炼温度下来降低主要由氮化铝组成的本体的体积电阻系数。该本体可以是例如致密化或烧结体(如多晶体)的氮化铝粉料的坯体。静电吸盘在吸盘体内有一电极。吸盘体的第一部分在电极的第一面上，具有小于约1×1013Ω·cm的23℃体积电阻系数。第二部分在电极的第二面上，其体积电阻系数在和第一部分的同一个数量级内。
主权项
权利要求书
1.一种降低主要由氮化铝组成的本体的体积电阻系数的方法，该方法包括在
贫氮气氛中将该本体暴露于至少为约1000℃的温度。
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