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垂直轴线从动测试头机械手配重平衡的对接运动<%=id%> |
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颁 证 日:
优 先 权:
2000.3.1 US 60/186,196
申请(专利权)人:
因泰斯特IP公司
地 址:
美国特拉华州
发 明 (设计)人:
阿林·R·霍尔特;布赖恩·R·穆尔
国 际 申 请:
CT/US01/06456 2001.3.1
国 际 公 布:
WO01/64389 英 2001.9.7
进入国家日期:
2002.09.02
专利 代理 机构:
北京市柳沈律师事务所
代 理 人:
李瑞海;王景刚
摘要
一个定位器,例如半导体晶片和装置测试机的测试头载体,包括一个垂直支承和一个支承该测试头的主臂。利用诸如配重一类的平衡力,使主臂悬浮,以便进行微调运动。主臂的悬浮是在一定的传动比下达到的,因此,可利用小的平衡力和配重的大运动来进行微调运动。垂直支承可用不顺从的驱动装置,例如滚珠丝杠机构,来调整。还可以利用微调运动来感测碰撞和其他定位错误,并可以控制垂直支承的驱动装置的工作。
主权项
权利要求书
1.一种支承负载的设备,该设备包括:
一个进行负载第一位置调整的驱动机构;和
一个进行负载第二位置调整的结合机构,该结合机构具有与负载结合
的承载部件,和承受平衡力的输入部件,该结合机构具有大于1的传动比,
由于传动比,作用在输入部件上的平衡力增加,而产生了一个更大的施加
在负载上的合力,该平衡力在基本上无重量的状态下支承该负载。
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