|
|
|
|
|
|
|
|
分 类 号：
G03F7/004;G03F7/039
颁 证 日：
优 先 权：
1999.12.7 US 09/455,872
申请(专利权)人：
科莱恩金融(BVI)有限公司
地 址：
英属维尔京群岛托尔托拉
发 明 (设计)人：
M·帕德马纳本;R·R·戴米尔
国 际 申 请：
CT/EP00/11495 2000.11.18
国 际 公 布：
WO01/42853 英 2001.6.14
进入国家日期：
2002.06.06
专利 代理 机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代 理 人：
陈季壮
摘要
本发明涉及在深紫外线区域敏感的新型光刻胶组合物，其中光刻胶对在光刻胶的处理环境中的碱污染物不敏感。
主权项
权利要求书
1.光刻胶组合物，包括以下物质的混合物：
a)不溶于碱水溶液且包括至少一个酸不稳定基团的聚合物；
b)在辐射时能够产生酸的化合物或化合物的混合物；
c)选自硫鎓和碘鎓化合物中的至少一种感光碱性化合物；和
d)溶剂组分。
|
|
|
|
|
设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明
Copyriht 2007 - 2008 © 科普之友 All right reserved |
