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分 类 号：
65G49/07 65G43/08;H01L21/00
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
旺宏电子股份有限公司
地 址：
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行路16号
发 明 (设计)人：
刘全
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
上海专利商标事务所
代 理 人：
任永武
摘要
本发明提供了一种避免半导体晶片传送系统执行错误制程的方法。本发明方法包括：传送传送箱于介面装置，传送箱其内具有工作件，及其上具有货签系统；通过主控制器传送第一信号至介面装置，要求锁定传送箱；锁定传送箱于介面装置；通过介面装置的货签读写系统读取货签系统的数据；通过主控制器传送第二信号至制程工具，进行检查制程工具是否处于准备状态；及假如制程工具是处于准备状态，传送工作件于制程工具开始制程。这样，由于当传送箱一旦被置于介面装置时就将其锁定而可避免因被置换的传送箱内工作件与主控制器先行决定的各项制程不同而执行到错误的制程的情形。
主权项
权利要求书
1.一种避免半导体工作件传送系统执行错误制程的方法，其特征在于包括：
传送一传送箱于一介面装置，其中所述传送箱其内具有一工作件，及其上具
有一货签系统；
锁定所述传送箱于所述介面装置；
检查一制程工具是否处于准备状态；及
假如所述制程工具是处于准备状态，传送所述工作件于所述制程工具。
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