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br>分 类 号：
81B3/00 25J7/00
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
清华大学
地 址：
100084北京市100084-82信箱
发 明 (设计)人：
李玉和;李勇;李庆祥;訾艳阳
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
代 理 人：
摘要
一种静电致动微夹持器，属于微机电系统(MEMS-Micro-electro mechanical Systems)领域。本微夹持器是以静电作为驱动力源，夹持器由驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块、微夹持臂和底板组成，驱动电极、定梳齿、限位块以键合方式固定在底板上，柔性结构为连续的S形结构，一端与驱动电极相连，一端与动梳齿相连，动梳齿的另一端与微夹持臂相连。在驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块和微夹持器的上表面都溅射有金属层，金属层应为易于与铝、金等金属导线压焊的材料如金。本发明静电致动微夹持器响应速度快，夹持力大，控制容易、制造方便。
主权项
权利要求书
1、一种静电致动微夹持器，其特征在于以静电作为驱动力源，夹持器由驱动电极、柔性
结构、动梳齿、定梳齿、限位块、微夹持臂和底板组成，驱动电极、定梳齿、限位块以键合
方式固定在底板上，柔性结构为连续的S形结构，一端与驱动电极相连，一端与动梳齿相连，
动梳齿的另一端与微夹持臂相连，在驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块和微夹
持器的上表面都溅射有金属层，金属层为易于与铝、金等金属导线压焊的材料如金。
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