|
|
|
|
|
|
|
|
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
武汉化工学院
地 址：
430074湖北省武汉市洪山区卓刀泉路366号
发 明 (设计)人：
马志斌;汪建华
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
湖北武汉永嘉专利代理有限公司
代 理 人：
王守仁
摘要
本发明是一种用脉冲电弧放电电离有机溶液制备金刚石和类金刚石薄膜，即：将有机溶液在常温常压和脉冲电压0.5～30KV条件下，诱导阳、阴电极(1)、(2)产生脉冲电弧放电，使有机溶液电离成含碳等离子体，冲向并沉积在基板(3)上，制得金刚石薄膜或类金刚石薄膜。本发明具有合成温度低和沉积速率快等优点。
主权项
权利要求书
1.一种制备金刚石和类金刚石薄膜的方法，其特征是用脉冲电弧放电电离有机溶液
制备金刚石和类金刚石薄膜，将有机溶液在常温常压和脉冲电压0.5～30KV条件下，诱导
阳、阴电极(1)、(2)产生脉冲电弧放电，使有机溶液电离成含碳等离子体，冲向并沉积
在基板(3)上，制得金刚石薄膜或类金刚石薄膜。
|
|
|
|
|
设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明
Copyriht 2007 - 2008 © 科普之友 All right reserved |
