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设备管理系统和方法、半导体曝光设备及其管理方法、半导体器件的制造方法<%=id%> |
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3F9/02
颁 证 日:
优 先 权:
2001.10.17 JP 319452/2001
申请(专利权)人:
佳能株式会社
地 址:
日本东京
发 明 (设计)人:
稻秀树;铃木武彦;千德孝一;松本隆宏
国 际 申 请:
国 际 公 布:
进入国家日期:
专利 代理 机构:
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代 理 人:
杜日新
摘要
在运行中,管理作为管理对象设备的设备管理方法,设定用于运行作为管理对象设备的参数(S205);按照该设定的参数,运行设备(S220);在该设备的运行中检查运行设备的结果的检查(S225)。从表示对由检查求出的第1参数值的运行结果的第1评价量,和按照与第1参数值不同的第2参数值(S215)表示运行结果的第2评价量(S210、S230)中决定参数值(S255、S260)。把第1参数值更新为决定的参数值,按照该更新后的参数值运行设备。
主权项
权利要求书
1、一种管理设备的系统,包括:
设定用于运行上述设备参数值的设定装置;
按照由上述设定装置设定的第1参数值,运行上述设备的运行装
置;
检查上述设备运行结果的检查装置;
从表示按照由上述检查求出的第1参数值的运行结果的第1评
价量和表示按照与不进行上述检查求出的第1参数值不同的第2参数
值的运行结果的第2评价量中决定参数值的决定装置,
在这里,上述设定装置把上述参数值,作为由上述决定装置决定
的参数值,
上述运行装置,按照由上述决定装置决定的参数值,运行上述设
备。
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