谐振腔增强的n型砷化镓远红外探测器的反射镜<%=id%>

分类号： H01L31/0232;G01J1/02
颁证日：
优先权：
申请(专利权)人：上海交通大学
地址： 200030上海市华山路1954号
发明 (设计)人：张月蘅;沈文忠;骆海涛
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：上海交达专利事务所
代理人：王锡麟
摘要
　一种谐振腔增强的n型砷化镓远红外探测器的反射镜属于光电探测器领域。本发明提供了一种采用分子束外延生长制备的远红外探测器的反射镜。顶部反射镜由探测器与空气形成的界面形成。底部反射镜由底部电极层和它下面的多周期的非掺杂/掺杂的砷化镓层共同组成，本发明具有实质性特点和显著进步，可以通过分子束外延生长制备，具有很好的样品质量，可以应用到远红外波段，而且大大提供探测器的量子效率。
主权项
　权利要求书 1、一种谐振腔增强的n型砷化镓远红外探测器的反射镜，其特征在于：顶部反射镜由探测器与空气形成的界面形成，底部反射镜由底部电极层(1)和它下面的多周期的非掺杂(2)/掺杂(3)的砷化镓层共同组成。

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