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    脊形波导式半导体激光器件及其制作方法<%=id%>


    分 类 号: H01S5/22;H01S5/00
    颁 证 日:
    优 先 权:
    申请(专利权)人: 陈农
    地 址: 230061安徽省合肥市霍山路56号7幢604室
    发 明 (设计)人: 陈农
    国 际 申 请:
    国 际 公 布:
    进入国家日期:
    专利 代理 机构: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
    代 理 人: 何梅生
    摘要
      脊形波导式半导体激光器件及其制作方法,层状结构,包括底座和条状脊背,底座以半导体为衬底基片,衬底基片的下层面为下部金属电极层,衬底基片的上层面依次为下部包被层、下部导波层、激光活性层、上部导波层和上部包被层;条状脊背是在条状包被层上覆盖接触层,其上表层为上部金属电极层。其特征是,作为电流通道,在位于激光活性层之上的包被层中,或是在位于激光活性层之下的下部包被层中,或是激光活性层本身,以选择性蚀刻形成宽度较之条状脊背更窄、以使通过其间的激光驱动电流值更低的窄带电流限制层。本发明既能保持低成本,又能保持激光器的高性能。
    主权项
      权利要求书 1、脊形波导式半导体激光器件,层状结构,包括底座和条状脊背,所 述底座以半导体为衬底基片(1),衬底基片(1)的下层面为下部金属电极 层(2),衬底基片(1)的上层面依次为下部包被层(10)、下部导波层(3)、 激光活性层(4)、上部导波层(5)和上部包被层(11);所述条状脊背是在 条状包被层(6)上覆盖接触层(7),其上表层为上部金属电极层(8);其 特征是,作为电流通道,在位于激光活性层(4)之上的包被层中,或是在 位于激光活性层(4)之下的下部包被层中,或是激光活性层(4)本身,具 有宽度较之条状脊背更窄、以使通过其间的激光驱动电流值更低的窄带电流 限制层(9)。
         

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